首页 产物中心 光伏行业设备及自动化解决方案 磷硼激光掺杂设备
设备简介使用激光能量推动硼、磷原子扩散，仅在金属栅线与硅片接触区域实现重掺杂，在其他区域保持轻掺杂，从而实现选择性发射极结构，形成良好的欧姆接触，提高电池转化效率。
技术参数
technical parameter
磷硼激光掺杂设备
设备性能

规格参数

运行模式

离线生产模式

适用电池尺寸

兼容 230*230mm 及以下尺寸

图形精度

±15μm

瞄准精度

±15μm

设备产能

182*182mm ≥ 8400pcs/h（栅线数量 <132）210*210mm ≥ 7300pcs/h（栅线数量 <152）

碎片率

≤ 0.02%

工艺提效

＞ 0.3%

设备尺寸 L*W*H

3500*2900*2500mm

应用领域
application area